Hệ thống đo quang học 3D được gắn trên cổng chính xác cho đo lường bán dẫn
Hệ thống đo quang học 3D được gắn trên cổng để đo bán dẫn (Darco) Máy đo phối hợp chính xác Máy đo tọa độ MXP cung cấp các phép đo chính xác và nhanh chóng cần thiết cho đảm bảo chất lượng.sử dụng các đầu dò để thu thập dữ liệu mảng làm việc sau đó được phân tích bởi phần mềm đo phức tạp để kiểm tra ...
hệ thống đo quang học 3D gắn trên cổng
,Máy đo metrology bán dẫn
,Hệ thống đo quang học 3D chính xác

| Mô hình | CARINA | URSA | DARCO | ||||||||
| 565 | 686 | 8106 | 10158 | 121510 | 153010 | 8106 | 10158 | 121510 | |||
| Độ chính xác PH10M+TP20 | MPEe (um) | 1.7+L/333 | 1.8+L/333 | 1.8+L/333 | 2.2+L/333 | 2.4+L/333 | 1.3+L/333 | 1.6+L/333 | 1.9+L/333 | ||
| MPEp (um) | 2.5 | 2.5 | 2.7 | 2.8 | 2.5 | ||||||
| Độ chính xác PH10M+SP25 | MPEe (um) | 1.5+L/333 | 1.5+L/333 | 1.9+L/333 | 2.1+L/333 | 1.1+L/333 | 1.3+L/333 | 1.6+L/333 | |||
| MPEp (um) | 1.5 | 1.5 | 1.9 | 2.1 | 1.1 | 1.3 | 1.5 | ||||
| Độ chính xác PH20+TP20 | MPEe (um) | 1.7+L/333 | 1.8+L/333 | 1.8+L/333 | 2.2+L/333 | 2.4+L/333 | 1.3+L/333 | 1.6+L/333 | 1.9+L/333 | ||
| MPEp (um) | 2.5 | 2.5 | 2.7 | 2.8 | 2.5 | ||||||
| Độ chính xác MH20i | MPEe (um) | 1.7+L/333 | 1.8+L/333 | 1.8+L/333 | 2.2+L/333 | 2.4+L/333 | / | ||||
| MPEp (um) | 2.5 | 2.5 | 2.7 | 2.8 | |||||||
| Độ chính xác REVO RSP-2 | MPEe (um) | 1.5+L/333 | 1.5+L/333 | 1.9+L/333 | 2.1+L/333 | 1.1+L/333 | 1.3+L/333 | 1.6+L/333 | |||
| MPEp (um) | 1.5 | 1.5 | 1.9 | 2.1 | 1.1 | 1.3 | 1.5 | ||||
| Độ chính xác REVO RSP-3 | MPEe (um) | 1.5+L/333 | 1.5+L/333 | 1.9+L/333 | 2.1+L/333 | 1.1+L/333 | 1.3+L/333 | 1.6+L/333 | |||
| MPEp (um) | 1.5 | 1.5 | 1.9 | 2.1 | 1.1 | 1.3 | 1.5 | ||||
| Nạp tải phần tối đa | 900 ~ 1500 | 2000~3000 | 1200~3000 | ||||||||

- Ngành công nghiệp hàng không vũ trụ
- Ngành công nghiệp ô tô
- Ngành công nghiệp điện tử
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.