Optische CMM-Maschine im Gantry-Stil für die industrielle Inspektion der Halbleitermetrologie
Erweiterte optische CMM im Gantry-Stil für Halbleitermetrologie Carina-Serie Beschreibung des Produkts Koordinatenmessmaschinen (CMM) MXP-Koordinatenmessmaschinen liefern die genauen und schnellen Messungen, die Sie für die Qualitätssicherung benötigen.Unsere Koordinatenmessmaschinen (CMMs) bieten ...
Optische CMM-Maschine im Gantry-Stil
,Optische CMM-Maschine für Halbleiter
,Optische CMM für die industrielle Inspektion
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Modell
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Der Name ist CARINA
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URSA
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DARCO
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565
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686/8106
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10158
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121510
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153010
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8106
|
10158
|
121510
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||
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Genauigkeit PH10M+TP20
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Mrd (um)
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1.7+L/333
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1.8+L/333
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1.8+L/333
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2.2+L/333
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2.4+L/333
|
1.3+L/333
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1.6+L/333
|
1.9+L/333
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|
MPEp (um)
|
2.5
|
2.5
|
2.7
|
2.8
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2.5
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Genauigkeit PH10M+SP25
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Mrd (um)
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1.5+L/333
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1.5+L/333
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1.9+L/333
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2.1+L/333
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1.1+L/333
|
1.3+L/333
|
1.6+L/333
|
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MPEp (um)
|
1.5
|
1.5
|
1.9
|
2.1
|
1.1
|
1.3
|
1.5
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Genauigkeit PH20+TP20
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Mrd (um)
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1.7+L/333
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1.8+L/333
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1.8+L/333
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2.2+L/333
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2.4+L/333
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1.3+L/333
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1.6+L/333
|
1.9+L/333
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MPEp (um)
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2.5
|
2.5
|
2.7
|
2.8
|
2.5
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Genauigkeit MH20i
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Mrd (um)
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1.7+L/333
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1.8+L/333
|
1.8+L/333
|
2.2+L/333
|
2.4+L/333
|
/
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MPEp (um)
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2.5
|
2.5
|
2.7
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2.8
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Genauigkeit REVO RSP-2
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Mrd (um)
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1.5+L/333
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1.5+L/333
|
1.9+L/333
|
2.1+L/333
|
1.1+L/333
|
1.3+L/333
|
1.6+L/333
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MPEp (um)
|
1.5
|
1.5
|
1.9
|
2.1
|
1.1
|
1.3
|
1.5
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Genauigkeit REVO RSP-3
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Mrd (um)
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1.5+L/333
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1.5+L/333
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1.9+L/333
|
2.1+L/333
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1.1+L/333
|
1.3+L/333
|
1.6+L/333
|
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MPEp (um)
|
1.5
|
1.5
|
1.9
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2.1
|
1.1
|
1.3
|
1.5
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Maximale Teillast
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900 bis 1500
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2000 bis 3000
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1200 bis 3000
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