3D VMM измерительная машина с одним касанием без контакта для контроля полупроводников
3D-визуализатор Vmm - бесконтактная измерительная машина и машина для инспекции полупроводников Описание продукта Измерительная машина серии Mars Vision Измерительный прибор с одним касанием получил название «Марс», чтобы подчеркнуть суровую среду планеты — пылевые бури, экстремальный холод и высоко...
измерительная машина vmm с одним касанием
,бесконтактная машина для контроля полупроводников
,измерительная машина vmm для полупроводников
3D-визуализатор Vmm - бесконтактная измерительная машина и машина для инспекции полупроводников
|
Предмет
|
MARS 100
|
MARS 190
|
|
|
Размеры (мм) (X/Y/Z)
|
540/830/1080
|
640/830/1080
|
|
|
Диапазон измерений (мм) (X/Y/Z)
|
200/200/200
|
300/200/200
|
|
|
Точность измерения (мкм)
|
2,5 + L/100
|
2,5 + L/100
|
|
|
Повторяемость (мкм)
|
2,5
|
2,5
|
|
|
Вес (кг)
|
140
|
180
|
|
|
ПЗС
|
Цифровая камера 1,3 Мп
|
||
|
Объектив
|
Ручной зум-объектив с обратной связью по сигналу увеличения 0,7-4,5X
|
||
|
Увеличение
|
24,7-160X (значение приведено для справки, фактическое увеличение будет меняться в зависимости от комбинации камеры и объектива.)
|
||
|
Поле зрения
|
8,5–1,3 мм (значение приведено для справки, фактическое поле зрения будет меняться в зависимости от комбинации камеры и объектива.)
|
||
|
Рабочее расстояние (мм)
|
80
|
||
|
Разрешение линейной шкалы (мкм)
|
0,5
|
||
|
Система привода
|
Ручное управление по осям X и Y, полнозамкнутое управление движением по оси Z с ЧПУ (включая функцию автофокусировки)
|
||
|
Освещение
|
Программируемая светодиодная кольцевая поверхностная подсветка из 8 секций, светодиодная параллельная нижняя подсветка
|
||
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.