دستگاه اندازهگیری VMM سه بعدی یک لمسی بدون تماس برای بازرسی نیمههادی
Vmm 3D Vision - اندازه گیری بدون تماس و دستگاه بازرسی نیمه هادی توضیحات محصول دستگاه اندازه گیری دید سری مریخ ابزار اندازه گیری یک لمسی به نام "مریخ" نامگذاری شده است تا محیط خشن سیاره را برجسته کند - طوفان های گرد و غبار، سرما شدید و تشعشع بالا - و روحیه اکتشافات خستگی ناپذیر آن.این انعطاف پذیری با ...
دستگاه اندازهگیری VMM یک لمسی,دستگاه بازرسی نیمههادی بدون تماس,دستگاه اندازهگیری نیمههادی VMM
,non contact semiconductor inspection machine
,vmm semiconductor measurement machine
Vmm 3D Vision - اندازه گیری بدون تماس و دستگاه بازرسی نیمه هادی
|
بذار
|
MARS 100
|
MARS 190
|
|
|
ابعاد (ملی متر) (X/Y/Z)
|
540/830/1080
|
640/830/1080
|
|
|
محدوده اندازه گیری (ملی متر) (X/Y/Z)
|
200/200/200
|
300/200/200
|
|
|
دقت اندازه گیری (μm)
|
2.5 + L/100
|
2.5 + L/100
|
|
|
تکرار پذیری (μm)
|
2.5
|
2.5
|
|
|
وزن (کیلوگرم)
|
140
|
180
|
|
|
CCD
|
1دوربین دیجیتال.3M پیکسل
|
||
|
لنز
|
لنز زوم دستی با بازخورد سیگنال بزرگنمایی 0.7-4.5X
|
||
|
بزرگنمایی
|
24.7-160X (ارزش فقط برای مرجع است و بزرگنمایی واقعی با توجه به ترکیب های مختلف دوربین و لنز تغییر می کند.)
|
||
|
میدان دید
|
8.5 ~ 1.3mm (ارزش فقط برای مرجع است و FOV واقعی با توجه به ترکیب های مختلف دوربین و لنز تغییر می کند.)
|
||
|
فاصله کاری (ملی متر)
|
80
|
||
|
رزولوشن مقیاس خطی (μm)
|
0.5
|
||
|
سیستم راننده
|
کنترل دستی در محور X و Y، کنترل حرکت کامل حلقه بسته CNC در محور Z (از جمله عملکرد فوکوس خودکار)
|
||
|
نورپردازی
|
چراغ سطحی حلقه ای LED 8 بخش قابل برنامه ریزی، چراغ موازی پایین LED
|
||
لطفا از فرم تماس آنلاین در زیر استفاده کنید اگر سوالی دارید، تیم ما در اسرع وقت با شما تماس خواهد گرفت.