Máquina de Medición por Visión de Precisión a Nivel de Micra para Medición de Semiconductores
Descripción del producto Máquina de Medición por Visión Serie Mars El instrumento de medición de un solo toque se llama "Mars" para resaltar el duro entorno del planeta —tormentas de polvo, frío extremo y alta radiación— y su espíritu de exploración tenaz. Esta resiliencia se alinea con las demandas ...
Máquina de medición por visión de precisión de micras
,Máquina óptica de medición de semiconductores
,Máquina de inspección y medición a nivel de micra
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Artículo
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MARS 100
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MARS 190
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Dimensión (mm) (X/Y/Z)
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540/830/1080
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640/830/1080
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Rango de medición (mm) (X/Y/Z)
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200/200/200
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300/200/200
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Precisión de medición (μm)
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2.5 + L/100
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2.5 + L/100
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Repetibilidad (μm)
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2.5
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2.5
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Peso (kg)
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140
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180
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CCD
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Cámara digital de 1.3M píxeles
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Lente
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Lente de zoom manual con retroalimentación de señal de magnificación 0.7-4.5X
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Magnificación
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24.7-160X (El valor es solo de referencia y la magnificación real cambiará según las diferentes combinaciones de cámara y lente.)
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Campo de visión
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8.5~1.3mm (El valor es solo de referencia y el FOV real cambiará según las diferentes combinaciones de cámara y lente.)
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Distancia de trabajo (mm)
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80
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Resolución de escala lineal (μm)
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0.5
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Sistema de accionamiento
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Control manual de los ejes X e Y, control de movimiento de bucle cerrado completo CNC del eje Z (Incluye función de enfoque automático)
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Iluminación
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Luz de anillo de 8 secciones LED programable, luz paralela inferior LED
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