Apparecchiature di ispezione semiconduttori senza contatto 2,5 µm con precisione a livello di micron
Descrizione del prodotto Macchina di misura per visione serie Mars Lo strumento di misurazione "one-touch" è stato chiamato "Mars" per sottolineare l'ambiente ostile del pianeta—tempeste di polvere, freddo estremo e alta radiazione—e il suo spirito di esplorazione tenace. Questa resilienza si ...
Apparecchiature di ispezione semiconduttori senza contatto
,Macchina di visione per misurazioni senza contatto
,Apparecchiature di ispezione semiconduttori di precisione
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Articolo
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MARS 100
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MARS 190
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Dimensioni (mm) (X/Y/Z)
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540/830/1080
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640/830/1080
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Campo di misura (mm) (X/Y/Z)
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200/200/200
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300/200/200
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Accuratezza di misura (μm)
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2.5 + L/100
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2.5 + L/100
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Ripetibilità (μm)
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2.5
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2.5
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Peso (kg)
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140
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180
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CCD
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Fotocamera digitale da 1.3M pixel
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Obiettivo
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Obiettivo zoom manuale con feedback del segnale di ingrandimento 0.7-4.5X
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Ingrandimento
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24.7-160X (Il valore è solo di riferimento e l'ingrandimento effettivo cambierà in base alle diverse combinazioni di fotocamera e obiettivo.)
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Campo visivo
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8.5~1.3mm (Il valore è solo di riferimento e il FOV effettivo cambierà in base alle diverse combinazioni di fotocamera e obiettivo.)
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Distanza di lavoro (mm)
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80
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Risoluzione scala lineare (μm)
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0.5
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Sistema di azionamento
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Controllo manuale assi X e Y, controllo del movimento CNC a circuito chiuso completo asse Z (inclusa funzione di messa a fuoco automatica)
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Illuminazione
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Luce anulare a 8 sezioni programmabile a LED, luce parallela inferiore a LED
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