Gantry-montierte 3D-Vision-Koordinatenmessmaschine für hochpräzise Halbleitermetrologie
Gantry-Typ 3D-Vision-Messgerät für Halbleiter-QC (Carina-Serie) MXP Koordinatenmessgeräte liefern präzise, Hochgeschwindigkeitsmessungen, die für Qualitätssicherungsprozesse unerlässlich sind. Unsere KMGs bieten genaue 3D-Messungen für Kontakt- und berührungslose Anwendungen und nutzen fortschrittli...
3D-Vision-Messmaschine vom Gantry-Typ
,Halbleiter-Qualitätskontroll-Messgeräte
,Gantry-montierte 3D-Vision-Koordinatenmessmaschine

| Modell | Gesamtmaße | Gewicht | Max. Teilegewicht | Messbereich | Genauigkeit PH10M+TP20 | Genauigkeit PH10M+SP25 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Carina 565 | 1235*1370*2450 | 1280 | 900 | 508/610/508 | 1.9+L/333 | 2.5 |
| Carina 686 | 1325*1560*2680 | 1630 | 1000 | 610/813/610 | 2.0+L/333 | |
| Carina 10108 | 1880*2220*2930 | 3420 | 2000 | 1010/1020/810 | 2.3+L/333 | 2.0+L/333 |
| Carina 10158 | 1880*2720*2950 | 4190 | 2000 | 1010/1520/810 | ||
| Carina 10208 | 1880*3220*2950 | 5020 | 3000 | 1010/2020/810 | ||
| Carina 10258 | 1880*3720*2950 | 5880 | 3000 | 1010/2520/810 |
| Modell | Genauigkeit PH20+TP20 | Genauigkeit MH20i | Genauigkeit REVO RSP-2 | Genauigkeit REVO RSP-3 |
|---|---|---|---|---|
| Carina 565 | 1.8+L/333 | 2.5 | 1.8+L/333 | 2.5 |
| Carina 686 | ||||
| Carina 10108 | 2.1+L/333 | 2.1+L/333 | 1.9+L/333 | 1.9 |
| Carina 10158 | ||||
| Carina 10208 | ||||
| Carina 10258 |

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