Machine de mesure par vision résistante aux vibrations, précision sans contact pour semi-conducteurs
Description du produit Machine de mesure de vision série Mars L'instrument de mesure à une touche est nommé "Mars" pour souligner l'environnement hostile de la planète—tempêtes de poussière, froid extrême et radiations élevées—et son esprit d'exploration tenace. Cette résilience correspond aux ...
Machine de mesure visuelle sans contact
,Machine de mesure par vision résistante aux vibrations
,Machine de mesure par vision pour semi-conducteurs
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Article
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MARS 100
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MARS 190
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Dimension (mm) (X/Y/Z)
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540/830/1080
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640/830/1080
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Plage de mesure (mm) (X/Y/Z)
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200/200/200
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300/200/200
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Précision de mesure (μm)
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2.5 + L/100
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2.5 + L/100
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Répétabilité (μm)
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2.5
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2.5
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Poids (kg)
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140
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180
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CCD
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Caméra numérique 1.3M pixels
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Objectif
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Objectif zoom manuel à indentation avec retour de signal de grossissement 0.7-4.5X
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Grossissement
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24.7-160X (La valeur est indicative et le grossissement réel variera en fonction des différentes combinaisons de caméra et d'objectif.)
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Champ de vision
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8.5~1.3mm (La valeur est indicative et le champ de vision réel variera en fonction des différentes combinaisons de caméra et d'objectif.)
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Distance de travail (mm)
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80
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Résolution de l'échelle linéaire (μm)
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0.5
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Système d'entraînement
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Contrôle manuel des axes X et Y, contrôle de mouvement en boucle fermée complète CNC de l'axe Z (y compris la fonction de mise au point automatique)
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Éclairage
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Lumière annulaire programmable à 8 sections à LED, lumière parallèle inférieure à LED
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